超純水處理
廢水類型：超純水處理
廢水危害：
最近幾年超大規模集成電路的生產有了快速發展，對超純水的水質提出了更高的要求，超純水中所含雜質的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質種類也越來越多。為了有效去除各種雜質，需要各種處理手段的綜合運用。
通常我們超純水系統分為三部分：預處理，初級處理和拋光精制處理。
1.預處理系統通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成；
2.初步處理系統主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成。
3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。
處理工藝說明：
原水通過管道接入原水箱經由提升泵輸送至多介質過濾器，經過多介質過濾器的深層過濾降低原水中的濁度和SS后，進入活性炭過濾器吸附水中的余氯，防止對后端的膜組件氧化作用。原水中的懸浮顆粒經過預處理設備仍殘留一些細小顆粒，故設置保安過濾器，起到保護RO膜的作用。過濾水通過高壓泵提升至1級RO進行脫鹽處理，其1級RO的產水含鹽量還是很高，再通過高壓泵提升至2級RO進行再一次脫鹽處理將水中的鹽分控制在10μs/cm以內達到進入EDI的水質標準，純水進入EDI裝置在直流電的推動下進行進一步的陰陽離子的去除，使純水中存在的微量陰陽離子進一步去除。但是EDI的產水中還是會存在一些無法去除的微量陰陽離子，這些離子可以用拋光混床進行進一步去除，拋光混床中水的陽離子交換和陰離子交換是多次交錯進行的。所以經H型交換所產生的H＋和經OH型交換所產生的OH－都不能累積起來，基本上消除了反離子的影響，交換反應進行得十分徹底，出水水質很高。1級拋光混床的產水進入純水箱之后經純水提升泵提升至Uv殺菌器，殺菌器中發出的紫外線光線能使某些有機化合物的化學鍵斷開，生化性能發生根本變化，從而達到消毒效果。經過Uv殺菌后的超純水再次進入2級拋光混床進行離子交換。系統終端的精密過濾器不僅可濾除殺死的細菌，還可濾除水中一定粒徑的顆粒，起到使用點前亞過濾的作用。
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